L'Institut de recherche sur les télécommunications optiques commande un système de pulvérisation par faisceau ionique pour créer des revêtements à facettes laser et des dispositifs micro-optiques.
HHI utilisera la technologie IBS de Veeco pour créer des revêtements à facettes laser.
Instruments Veeco a annoncé avoir livré son système de pulvérisation à faisceau ionique Spector (IBS) et le système de surveillance optique Sirius au Institut Fraunhofer pour Télécommunications(HHI).
L'institut, basé à Berlin, en Allemagne, dit qu'il utilisera cette technologie IBS «pour développer et produire des revêtements à facettes laser et d'autres dispositifs micro-optiques».
«Le développement de dispositifs micro-optiques sophistiqués nécessite une technologie de pulvérisation exceptionnelle», a commenté Greta Ropers, responsable du backend et du groupe d'emballage pour Fraunhofer.
«Le système Spector de Veeco, associé à Sirius OMS, garantira que nous développons et produisons des dispositifs de classe mondiale avec le débit et la répétabilité de processus les plus élevés sur une plate-forme automatisée établie.
Films minces optiques
La plate-forme Spector génère des films minces optiques de haute qualité avec des niveaux de productivité et de débit améliorés, selon les clients. Contrairement aux revêtements par évaporation, les films minces pulvérisés par faisceau d'ions sont déposés à des énergies élevées, offrant un contrôle d'épaisseur exceptionnel et de faibles densités de défauts pour les applications de revêtement au laser.Le Sirius OMS améliore la capacité de la plate-forme Spector en couplant le contrôle de surveillance à large bande avec la stabilité des films déposés par faisceau d'ions .
«Le leader mondial de Fraunhofer HHI dans le développement de revêtements à facettes laser et de dispositifs micro-optiques de nouvelle génération», a déclaré le Dr Adrian Devasahayam, vice-président et directeur général de l'activité Advanced Deposition and Etch (AD&E) de Veeco. «Le système Spector offre une qualité et une flexibilité inégalées pour les couches minces de revêtement optique de précision et accélérera leurs objectifs de développement.»
Le financement de ce projet a été accordé par le Forschungsfabrik Mikroelektronik, une usine de recherche inter-sites pour la microélectronique et la nanoélectronique, comprenant onze instituts du groupe Fraunhofer ainsi que les Innovations for High Performance Microelectronics et le Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Le système a été vendu en coopération avec le partenaire de distribution européen de Veeco,Technologies Veonis.
Heure du Message: 31 octobre 2019